PYROELECTRIC-TYPE INFRARED RECEIVING ELEMENT AND INFRARED SENSOR UTILIZING THE SAME

초전식 적외선 수신 소자는 지지 단부에서 지지체에 고정된 초전기판과 기판상에 형성된 하나 이상의 직사각형 패치를 구비한다. 상기 패치는 서로 겹치는 제1전극 및 제2 전극을 가지는 대향면 상에 형성된다. 기판은 한쌍의 측면 슬릿과 측면 슬릿을 연결하는 베이스 슬릿으로 구성되는 U자 형상의 슬릿을 가진다. 상기 U자 형상의 슬릿은 패치의 세 측면을 둘러싸며, 상기 패치는 기판의 지지 단부중의 하나와 대향하는 캔틸레버 단부에서 캔틸레버식으로 기판에 의해 지지된다. 기판이 온도 변화에 노출되는 경우에 기판에 가해지는 열응력이 U자 형상의 슬릿에 흡수되기 때문에 문제가 되는 응력 집중은 패치에서는 발생하지 않는다. 따라서 팝콘 잡음의 발생을 감소시킬 수 있는 반면에 양호한 IR 감도를 유지할 수 있다. A pyroelectric-type IR receiving element (1) comprises a pyroelectric substrate (10) which is fixed to a supporting body at its support ends (16), and at least one rectangular patch (11,12,13,14) formed in the substrate. The patch is formed on its opposite surfaces with first and second electrodes (20,21) which are overlapped to each other. The substrate has a U-shaped slit (30) composed of a pair of side slits (31) and a base slit (32) connecting the side slits. The U-shaped slit surrounds continuously three sides of the patch, so that the patch is supported by the substrate in a cantilever fashion at a cantilever end which is opposed to one of the support ends of the substrate. Since a thermal stress applied to the substrate when the substrate is exposed to a temperature change is absorbed by the U-shaped slit, a stress concentration to be considered is not developed in the patch. As a result, it is possible to reduce the occurrence of popcorn noise, while maintaining good IR sensitivity.