CONNECTING DEVICE OF GAS EXHAUST PIPE FOR SEMICONDUCTOR DEVICE FABRICATION APPARATUS

본 발명은 가스 배출관과 주름호스를 연결하기 위한 반도체 제조설비의 가스 배출관 연결장치에 관한 것으로, 상기 가스 배출관의 연결부위에 나사부를 형성하고, 상기 가스 배출관과 연결하기 위한 주름호스의 연결부위에 상기 나사부와 결합하기 위한 나사부를 형성하여 가스 배출관에 주름호스가 양측의 나사부에 의해 직접 연결되도록 구성된다. 또한 상기 배출관을 제1 및 제2배출관으로 구성하고, 제1 및 제2배출관 사이에 O-링을 개재하여 제1배출관에 대하여 제2배출관이 회전가능하게 구성한 것이다. 따라서 가스 누출이 방지되어 유해 가스로부터 작...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	RYU, SE-HYUNG, OH, JAE-YONG
Format:	Patent
Sprache:	eng ; kor
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY SEMICONDUCTOR DEVICES
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Beschreibung
Zusammenfassung:	본 발명은 가스 배출관과 주름호스를 연결하기 위한 반도체 제조설비의 가스 배출관 연결장치에 관한 것으로, 상기 가스 배출관의 연결부위에 나사부를 형성하고, 상기 가스 배출관과 연결하기 위한 주름호스의 연결부위에 상기 나사부와 결합하기 위한 나사부를 형성하여 가스 배출관에 주름호스가 양측의 나사부에 의해 직접 연결되도록 구성된다. 또한 상기 배출관을 제1 및 제2배출관으로 구성하고, 제1 및 제2배출관 사이에 O-링을 개재하여 제1배출관에 대하여 제2배출관이 회전가능하게 구성한 것이다. 따라서 가스 누출이 방지되어 유해 가스로부터 작업자를 보호할 수 있는 것이고, 부품이 부식되지 않아 정기점검 및 부품교체 등의 번거로운 작업이 필요없이 작업능률 및 설비의 가동율이 향상되는 효과가 있다.