STIFF ACTUATOR ACTIVE VIBRATION ISOLATION SYSTEM

본 발명은 지지된 페이로드로부터 진동을 분리하는 방법 및 장치에 관한 것으로, 특히 센서와 보강 작동기를 이용한 액티브 진동분리 시스템에 관한 것이다. 이 액티브 진동분리 시스템(10)은 케이스(300) 내부의 소형 물체(18)를 지지하는 복수의 보강 작동기(12a,12b,12c; 284; 350)를 포함한다. 소형 물체(18)와 페이로드 질량체(M) 사이에는 패시브 분리기(20)가 설치된다. 보강 작동기가 압전모터인 경우, 케이스(300)의 측벽은 수평의 압전모터들 각각의 가변 길이를 따라 압축력을 가하여 그들에 대한 데미지를 방지하는데 이용된다. 속도센서(17)와 보강 작동기 사이에는, 무브-아웃-어브-더-웨이 시스템(10)에서 보강 작동기의 가변길이를 제어하여 공진 모드를 보상하기 위한 게인모듈(24)이 접속된다. 또한, 추가로 제어를 하기 위해 페이로드 질량체 속도센서(26) 및 관련 회로를 이용할 수도 있다. 모터에 작용하는 전단력을 최소화하도록 압전모터와 연관되어 전단 디커플러(282a,282b,282c,352,360)를 이용한다. An active vibration isolation system (10) includes a plurality of stiff actuators, such as piezoelectric motors (12a-c; 284, 350) which support a small mass (18) inside of a case (300). A passive isolator (20) is interposed between the small mass (18) and the payload mass (Mp). In the instance where the stiff actuators are piezoelectric motors, the sidewalls of the case (300) are used to provide compressive force along the variable length of each of the horizontal piezoelectric motor elements (284, 350) to prevent damage to same. Compensation circuitry (24) is connected between velocity sensors (17) and the stiff actuators to control the variable length thereof in this move-out-of-the-way system (10) and to compensate for resonating modes. Optionally, a payload mass velocity sensor (26) and associated circuitry may be used to provide additional control. Shear decouplers (282a-c; 352, 360) are used in conjunction with the piezoelectric motor elements (12a-c; 284, 350) to minimize the amount of shear force acting on the motor elements.