METHOD FOR MEASURING WIDTH OF FINE GAP

본 발명은, 자기기록장치등의 자기헤드갭의 갭폭측정방법에 관한 것으로서, 자기헤드 등의 0.2μm 이하의 종래의 광학적수법에서는 계측불가능한 미소한 갭폭을 고정밀도로 측정할 수 있는 미소갭폭정방법을 제공하는 것을 목적으로 하며, 그 구성에 있어서, 끝이 예리하게 뾰족한 탐침(1)과 샘플(5)과, 탐침(1)과 샘플(5) 사이에 가해지는 압력을 일정하게 하는 피드백기능과, 탐침(1)과 샘플(5)의 위치를 상대이동시키는 스테이지(6)와, 탐침(1)과 샘플(5) 사이에 바이어스전압을 인가하는 전원(3)과, 탐침(1)과 샘플(5) 사이에 흐르는 전류를 검출하는 앰프(4)와, 신호처리하는 컴퓨터(10)에 의해 구성하고, 상기 바이어스전압인가수단에 교류전원을 사용하고, 앰프의 출력중 교류전원에 동기한 신호를 검출하여 샘플링하므로써 주사방향의 도전성재료와 비도전성재료로 형성된 샘플(5)의 미세한 갭폭을 계측하는 것을 특징으로 한 것이다. An apparatus and method for measuring a width of a micro gap of a non-conductive material of a sample which is formed between two conductive materials thereof, includes a conductive probe having a sharpened front end, a cantilever having the probe, a sample confronting the probe, a driving device for relatively moving the sample with respect to the probe in three directions of XYZ, and bias power source for applying a voltage between the probe and the sample, an electric current detecting device for detecting a contact current running between the probe and the sample, a micro displacement detecting part which detects an amount of deflection of the cantilever when the sample and the probe are in touch with each other, a servo part which feeds back the amount of the deflection of the cantilever detected by the micro displacement detecting part to the driving device thereby to control to change a position of the sample in the Z-direction of the probe so as to make the amount of the deflection of the cantilever constant, and a measuring device for scanning the probe on the sample in a widthwise direction of the gap of the sample by the driving device, and at the same time sampling outputs of the detecting device thereby to measure the width of the gap in the widthwise direction.