A VACUUM REGULATOR

본 고안은 진공조절장치에 관한 것으로, 밸브의 이상 발생시 장비의 손실을 방지하기 위하여 진공제어부로 부터 출력되는 밸브 개폐(open/ close)신호에 따라 동작되는 밸브의 개폐상태를 표시수단을 통해 나타내도록 하므로써 생산수율 저하를 방지할 수 있도록 한 진공조절장치에 관한 것이다....

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	SEO, BYUNG-SUB, YU, HYUNG-SUNG, PARK, INNUN
Format:	Patent
Sprache:	eng ; kor
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY SEMICONDUCTOR DEVICES
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Beschreibung
Zusammenfassung:	본 고안은 진공조절장치에 관한 것으로, 밸브의 이상 발생시 장비의 손실을 방지하기 위하여 진공제어부로 부터 출력되는 밸브 개폐(open/ close)신호에 따라 동작되는 밸브의 개폐상태를 표시수단을 통해 나타내도록 하므로써 생산수율 저하를 방지할 수 있도록 한 진공조절장치에 관한 것이다.