CASSETTE PLATFORM

본 고안은 반도체 공정에서 다수의 웨이퍼가 실린 카세트가 놓이는 반도체 제조 및 측정 장치의 카세트 플랫폼에 있어서; 상기 카세트 플랫폼의 표면은 테프론으로 200μm 내지 300μm 두께중 어느 한 두께로 코팅처리된 것을 특징으로 하는 카세트 플랫폼에 관한 것으로, 불순물 감소로 인한 소자의 신뢰도 및 수율을 향상시키는 효과가 있다....

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	CHAE, HEE-JOONG, RYU, HEUNG-KI, JUNG, JUNG-SUK
Format:	Patent
Sprache:	eng ; kor
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY SEMICONDUCTOR DEVICES
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Beschreibung
Zusammenfassung:	본 고안은 반도체 공정에서 다수의 웨이퍼가 실린 카세트가 놓이는 반도체 제조 및 측정 장치의 카세트 플랫폼에 있어서; 상기 카세트 플랫폼의 표면은 테프론으로 200μm 내지 300μm 두께중 어느 한 두께로 코팅처리된 것을 특징으로 하는 카세트 플랫폼에 관한 것으로, 불순물 감소로 인한 소자의 신뢰도 및 수율을 향상시키는 효과가 있다.