SPIN DRYER

본 고안은 습식 에칭(wet etching)이나 습식 세정(wet cleaning)후 웨이퍼의 패턴 부분에 잔류하는 파티클(particle)및 수분을 제거하기 위하여 웨이퍼를 고속으로 회전, 건조시키는 스핀 드라이어 (spin dryer)에 관한 것으로, 로터 프레이트 조립체의 모터 연결축을 로터 플레이트에 일체인 단축과 모터의 중공축에 삽입되는 장축으로 분리, 형성하고, 이 단축과 장축을 체결수단을 이용, 결합하여 로터의 분해 및 조립이 용이하도록 구성함과 아울러 상기 축에 밀봉용 씰을 개재하여 외부 파티클의 침입을 방지하며, 구동회로를 포함하는 컨트롤러를 고정, 지지하는 전용 서포터를 보울의 상단부 하단에 설치하여 보수 유지가 용이하도록 구성하고, 또 로터 스톱 장치를 로터 플레이트 조립체의 장축에 콜렛척 방식을 적용, 고정하여 역풀림 토르크를 방지하도록 구성함으로써 장비 사용상의 편리를 기함과 아울러 장비의 다운 타임 (down time) 감소 및 이로 인한 생산성 향상에 기여할 수 있도록 한 것이다.