TEST CIRCUIT OF OP-AMP

본 고안은 오피-앰프 소자 테스트 체크회로에 관한 것으로서, 반도체 제조장치중 이온주입장치내의 콘트롤 회로내에서 전용으로 쓰이는 오피-앰프 소자의 이상유무를 체크하기 위한 회로에 관한 것이다.

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: YEU, TAE-HYUN, PARK, INNUN, SONN, KI-RAK
Format: Patent
Sprache:eng ; kor
Schlagworte:
Online-Zugang:Volltext bestellen
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Beschreibung
Zusammenfassung:본 고안은 오피-앰프 소자 테스트 체크회로에 관한 것으로서, 반도체 제조장치중 이온주입장치내의 콘트롤 회로내에서 전용으로 쓰이는 오피-앰프 소자의 이상유무를 체크하기 위한 회로에 관한 것이다.