TEST CIRCUIT OF OP-AMP
본 고안은 오피-앰프 소자 테스트 체크회로에 관한 것으로서, 반도체 제조장치중 이온주입장치내의 콘트롤 회로내에서 전용으로 쓰이는 오피-앰프 소자의 이상유무를 체크하기 위한 회로에 관한 것이다.
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Format: | Patent |
Sprache: | eng ; kor |
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Zusammenfassung: | 본 고안은 오피-앰프 소자 테스트 체크회로에 관한 것으로서, 반도체 제조장치중 이온주입장치내의 콘트롤 회로내에서 전용으로 쓰이는 오피-앰프 소자의 이상유무를 체크하기 위한 회로에 관한 것이다. |
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