LIQUID PHASE EPITAXY

PURPOSE:To grow a good-quality crystal layer with less surface fault by bringing a circular substrate into contact with a soln. for growth while pressing one end of the circular substrate on the side wall of a recess for holding the substrate on the surface of a substrate holder when a crystal is ep...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: WAJIMA MINESAKI, OOKAWA YOSHINORI, UNNO TSUNEHIRO, TATE HISAFUMI, SUGIMOTO HIROSHI
Format: Patent
Sprache:eng
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