SUBMOUNT FOR OPTICAL SEMICONDUCTOR ELEMENT
PURPOSE:To obtain the submount which withstands high temperature and high humidity by a method wherein the barrier layer to be provided on a wiring layer is constituted by Pt. CONSTITUTION:A wiring layer 41 is formed by performing a vacuum-deposition of Au layer 37, a Ti layer 38 and a Pt barrier ma...
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Format: | Patent |
Sprache: | eng |
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