MANUFACTURE OF SURFACE EMITTING LASER ON SILICON SUBSTRATE
PURPOSE:To provide a method of manufacturing a high-quality surface-emitting laser on a silicon substrate free from cracking. CONSTITUTION:In a surface emitting laser of a structure, wherein an optical resonator is constituted of first and second light reflection layers 7 and 14 by laminating a buff...
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Format: | Patent |
Sprache: | eng |
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