SEMICONDUCTOR DEVICE

PURPOSE:To obtain a semiconductor device of multilayer interconnection structure having a fuse wherein the fuse is readily fused and no damage is caused to wiring layers. CONSTITUTION:A polycrystalline silicon fuse 13 is formed, by a low temperature CVD method, in an upper layer of a multilayer inte...

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: KIKUCHI MASAHARU
Format: Patent
Sprache:eng
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