METHOD FOR ALIGNING MULTIPLE SECONDARY ELECTRON BEAMS

To provide a method capable of performing overall alignment between multiple secondary electron beams and a plurality of detection elements by utilizing information on an image in which a corner beam is not captured as well as information on an image in which a corner beam is captured.SOLUTION: A method includes the steps of assigning beam numbers to multiple beams in an element image in which a corner beam exists, assigning beam numbers to multiple beams in an element image in which the existence of a corner beam obtained by an adjacent detection element is unknown using the element image in which the corner beam with beam numbers exists, and assigning beam numbers to multiple beams in an element image in which the existence of a corner beam is unknown obtained by a detection element adjacent to a detection element from which an element image in which the existence of a corner beam is unknown has been obtained using an element image in which the existence of a corner beam was unknown in which beam numbers were assigned to each beam in the image.SELECTED DRAWING: Figure 5 【課題】コーナービームが写っている画像の情報の他にコーナービームが写っていない画像の情報も利用してマルチ２次電子ビームと複数の検出エレメントとの全体の位置合わせが可能な手法を提供する。【解決手段】手法は、コーナービームが存在するエレメント画像内の複数のビームにビーム番号を付与する工程と、ビーム番号が付与されたコーナービームが存在するエレメント画像を用いて隣接する検出エレメントによって得られたコーナービームの存在が不明なエレメント画像内の複数のビームにビーム番号を付与する工程と、画像内の各ビームにビーム番号が付与されたコーナービームの存在が不明だったエレメント画像を用いてコーナービームの存在が不明だったエレメント画像が得られた検出エレメントに隣接する検出エレメントによって得られたコーナービームの存在が不明なエレメント画像内の複数のビームにビーム番号を付与する工程と、を備えたことを特徴とする。【選択図】図５