POSITION DETERMINATION DEVICE OF ROBOT DETECTION LASER SENSOR SYSTEM IN FOUP MOVABLE BY OHT

To provide a position determination device of a robot sensing laser sensor system in a FOUP, capable of determining whether the presence/absence of deviation in horizontal and vertical directions of the FOUP mounted to a load port is sensed, and is mounted to a home position.SOLUTION: A FOUP 500 that can be moved in an OHT (Over-Head Transport) in a position determination device of a laser sensor system, includes: a sensor support plate 595 that is installed to the least significant of a substrate stationary rail 520, and is provided with a plurality of height sensors 590a and 590b for sensing the height of a load port to an upper surface; a horizontal sensor 580 that is provided to a plate surface of a load port mounting plate 560, and determines whether a housing 510 is horizontal; and a radio communication part 570 that is provided to an inner part of the housing 510, and transmits, to a control part, an angle value sensed by T-shaft sensors 540 and 540a, a sensing value of a Z-shaft sensor 550, and the horizontal sensor 580, and a height value sensed by the plurality of height sensors.SELECTED DRAWING: Figure 5 【課題】ロードポートに装着されるフープの水平方向及び垂直方向のずれの有無を感知して定位置に装着されたかを判断できるフープ内のロボット感知レーザセンサシステムの位置判定装置を提供する。【解決手段】レーザセンサシステムの位置判定装置において、ＯＨＴ（Ｏｖｅｒ－Ｈｅａｄ Ｔｒａｎｓｐｏｒｔ）で移動可能なフープ５００は、基板据置きレール５２０の最下位に据置きされ、上面にロードポートとの高さを感知する複数の高さセンサ５９０ａ、５９０ｂが備えられたセンサ支持板５９５と、ロードポート装着板５６０の板面に備えられ、ハウジング５１０が水平かどうかを判断する水平センサ５８０、ハウジング５１０の内部に備えられ、Ｔ軸センサ５４０、５４０ａと、Ｚ軸センサ５５０の感知値と、水平センサ５８０とで感知した角度値と複数の高さセンサで感知した高さ値を制御部に伝送する無線通信部５７０と。を含む。【選択図】図５