METHOD AND SYSTEM FOR POSITIONING AND TRANSFERRING SAMPLE

To provide a system for positioning a sample in a charged particle apparatus (CPA) or an X-ray photoelectron spectroscopy (XPS) system.SOLUTION: The system includes a sample carrier coupled to a stage inside a vacuum chamber of the CPA or XPS system. The system makes it possible to transfer the sample carrier between multiple CPAs, XPS systems and glove boxes in inert gas or in vacuum. The sample carrier is releasably coupled with the stage in the vacuum chamber of the CPA or the XPS. Multiple electrodes in a sample area of the sample carrier are electrically connectable with the stage by multiple spring contacts between the sample carrier and the stage.SELECTED DRAWING: Figure 1 【課題】荷電粒子装置（ＣＰＡ）又はＸ線光電子分光（ＸＰＳ）システム内で試料を位置決めするためのシステム。【解決手段】システムは、ＣＰＡ又はＸＰＳシステムの真空チャンバ内のステージに結合された、試料キャリアを含む。システムは、不活性ガス中又は真空中において、複数のＣＰＡ、ＸＰＳシステム、及びグローブボックスの間で、試料キャリアの移送を可能にする。試料キャリアは、ＣＰＡ又はＸＰＳの真空チャンバ内のステージと、解放可能に結合される。試料キャリアの試料領域内の複数の電極は、試料キャリアとステージとの間の複数のばね接点によって、ステージと電気的に接続可能である。【選択図】図１