SEMICONDUCTOR DEVICE
To provide a storage device storing high-capacity data.SOLUTION: A storage device includes a first transistor, a second transistor, a third transistor, a first capacitor, a second capacitor, and first to third wires. The first transistor includes an oxide semiconductor in a channel formation region....
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Format: | Patent |
Sprache: | eng ; jpn |
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Zusammenfassung: | To provide a storage device storing high-capacity data.SOLUTION: A storage device includes a first transistor, a second transistor, a third transistor, a first capacitor, a second capacitor, and first to third wires. The first transistor includes an oxide semiconductor in a channel formation region. The second transistor includes silicon in a channel formation region. The third transistor includes silicon in a channel formation region. The first capacitor is provided in the same layer as the first transistor. The second capacitor and the first capacitor include regions overlapping with each other. It is preferable that the thickness of the dielectric body of the second capacitor is larger than that of the dielectric body of the first capacitor.SELECTED DRAWING: Figure 6
【課題】大容量のデータを記憶する記憶装置を提供する。【解決手段】第1トランジスタと、第2トランジスタと、第3トランジスタと、第1容量素子と、第2容量素子と、第1乃至第3配線とを有する記憶装置である。第1トランジスタはチャネル形成領域に酸化物半導体を有し、第2トランジスタはチャネル形成領域にシリコンを有し、第3トランジスタはチャネル形成領域にシリコンを有する。第1容量素子は第1トランジスタと同じ層に設けられ、第2容量素子と第1容量素子とは、互いに重なる領域を有する。第2容量素子の誘電体の膜厚は、第1容量素子の誘電体の膜厚よりも大きいことが好ましい。【選択図】図6 |
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