SYSTEM AND METHOD FOR DETECTING PERACETIC ACID VAPOR AND HYDROGEN PEROXIDE VAPOR

To provide an invention related to detection of peracetic acid (PAA) vapor and hydrogen peroxide vapor, which finds particular applications in sensing of peracetic acid vapor and hydrogen peroxide vapor concentrations.SOLUTION: A system disclosed herein comprises (a) a source of peracetic acid vapor, hydrogen peroxide vapor, water vapor and acetic acid vapor, (b) a light source configured to supply light with at least a component in the mid-infrared range, and (c) a detector configured to individually detect mid-infrared range light in (i) a first mid-infrared spectrum absorbed by the peracetic acid vapor and not absorbed by the hydrogen peroxide vapor, the acetic acid vapor or the water vapor, and (ii) a second mid-infrared spectrum absorbed by the peracetic acid vapor and the hydrogen peroxide vapor.SELECTED DRAWING: Figure 1 【課題】本発明は、検出蒸気過酢酸（ＰＡＡ）および過酸化水素に関する。本発明は、蒸気過酢酸濃度および蒸気過酸化水素濃度の感知に特定の応用を見出すものである。【解決手段】本システムは、（ａ）過酢酸蒸気、過酸化水素蒸気、水蒸気、および酢酸蒸気の供給源と、（ｂ）少なくとも中赤外範囲の成分を有する光を供給するように構成された光源と、（ｃ）（ｉ）過酢酸蒸気によって吸収され、過酸化水素蒸気、酢酸蒸気、または水蒸気によって吸収されない第１の中赤外スペクトルと（ｉｉ）過酢酸蒸気および過酸化水素蒸気によって吸収される第２の中赤外スペクトルとの中赤外範囲光を個別に検出するように構成された検出器とを含む。【選択図】図１