SUBSTRATE PROCESSING DEVICE
To provide a substrate processing device which enables easy restoration of license information even when a license key being owned is damaged.SOLUTION: A substrate processing device of the present invention is for processing a substrate, and comprises a control unit configured to generate a common l...
Gespeichert in:
| Hauptverfasser: | , |
|---|---|
| Format: | Patent |
| Sprache: | eng ; jpn |
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Volltext bestellen |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Zusammenfassung: | To provide a substrate processing device which enables easy restoration of license information even when a license key being owned is damaged.SOLUTION: A substrate processing device of the present invention is for processing a substrate, and comprises a control unit configured to generate a common license key by encrypting first license information held by the substrate processing device and second license information held by another substrate processing device.SELECTED DRAWING: Figure 2
【課題】所有するライセンスキーが破損した場合においてもライセンス情報を容易に復旧させることができる基板処理装置を提供する。【解決手段】本発明に係る基板処理装置は、基板を処理する基板処理装置であって、基板処理装置が有する第１のライセンス情報と、別の基板処理装置が有する第２のライセンス情報とを暗号化することで共通ライセンスキーを生成する制御部を備えていることを特徴とする。【選択図】図２ |
|---|