ELECTRONIC COMPONENT, PRESSURE VALUE DETECTION METHOD, AND METHOD OF MANUFACTURING ELECTRONIC COMPONENT

To enable detection of a pressure value in a first range as well as a pressure value in a second range that is higher than the first range.SOLUTION: A pressure sensor 100 comprises a cavity 42a, a membrane 48 configured to be deformed by a difference between pressure in the cavity and pressure outside the cavity, and an ASDIC 30. The membrane 48 has a facing portion facing the cavity 42a. One of a peripheral part and a central part of the facing portion is a thin part, and the other is a thick part that is thicker than the thin part. The ASIC 30 detects a pressure value in a first range based on a first output value at the thin part. The ASIC 30 detects a pressure value in a second range higher than the first range based on a second output value at the thick part.SELECTED DRAWING: Figure 2 【課題】第１帯域の圧力値を検出するとともに、第１帯域よりも高い第２帯域の圧力値を検出する。【解決手段】圧力センサ１００は、キャビティ４２ａと、キャビティ内の圧力とキャビティ外の圧力との差によって変形するメンブレン４８と、ＡＳＩＣ３０とを備える。メンブレン４８は、キャビティ４２ａと対向する対向部分を含む。対向部分の周縁部と対向部分の中央部とのうちいずれか一方は肉薄部であり、他方は該肉薄部よりも厚い肉厚部である。ＡＳＩＣ３０は、肉薄部における第１出力値に基づいて、第１帯域の圧力値を検出する。また、ＡＳＩＣ３０は、肉厚部における第２出力値に基づいて、第１帯域よりも高い第２帯域の圧力値を検出する。【選択図】図２