PROCESSOR SYSTEM COMMUNICABLE WITH MULTI CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE AND METHOD FOR THE SAME

To reduce the influence of crosstalk occurring in a multi charged particle beam device.SOLUTION: A processor system communicable with a multi charged particle beam device recognizes, in order to reduce the influence of first crosstalk occurring due to detection of secondary electrons from a second scan area by a first detector, a first ghost occurring in the first crosstalk from a first image by using a second image. The processor system corrects a first occurrence area of the first ghost, or when there is a detected defect candidate position on the outside of the first occurrence area, outputs the defect candidate position as a defect position.SELECTED DRAWING: Figure 4 【課題】マルチ荷電粒子ビーム装置で発生するクロストークの影響を軽減する。【解決手段】マルチ荷電粒子ビーム装置と通信可能なプロセッサシステムは、第２走査領域からの２次電子を第１検出器が検出したことで生じる第１クロストーク、の影響軽減として、第２画像を用いて、第１クロストークで生じた第１ゴーストを前記第１画像から認識する。そしてプロセッサシステムは、前記第１ゴーストの第１発生領域を修正する、又は第１発生領域より外側に検出した欠陥候補位置がある場合は、欠陥候補位置を欠陥位置として出力する。【選択図】図４