OPERATIONAL METHOD OF VACUUM PROCESSING APPARATUS

To provide a technique of improving a utilization efficiency of a vacuum processing chamber for an operational method of a vacuum processing apparatus.SOLUTION: An operational method in a vacuum processing apparatus contains a step of calculating a first through-put in the case where an unprocessed sample is previously transported to a second vacuum processing container connected to a second vacuum carrier on a depth side before the controller terminates a processing of an optional one sample in a first vacuum processing container connected to a first vacuum carrier on the front side, and a second through-put in the case where the unprocessed sample is carried to the first vacuum processing container previously defined in a schedule, and the processing is performed, reschedules so that the unprocessed sample is carried to the second vacuum processing container in the case where it is determined that the first through-put is larger than the second through-put, and controls an operation so that a plurality of samples are processed.SELECTED DRAWING: Figure 3 【課題】真空処理装置の運転方法に関して、真空処理室の利用効率を向上できる技術を提供する。【解決手段】真空処理装置における運転方法は、コントローラが、手前側の第１の真空搬送容器に接続されている第１の真空処理容器内で任意の１つの試料の処理が終了する前に、予め、当該未処理の試料を、奥側の第２の真空搬送容器に接続されている第２の真空処理容器に搬送して処理を行った場合の第１のスループットと、当該未処理の試料を、スケジュールにおいて定められた第１の真空処理容器に搬送して処理を行った場合の第２のスループットとを算出し、第２のスループットよりも第１のスループットの方が大きいと判定した場合に、未処理の試料を第２の真空処理容器に搬送するように、スケジュールを再度定め、複数の試料を処理させるように運転を制御するステップを有する。【選択図】図３