CHARGED PARTICLE ASSESSMENT TOOL AND INSPECTION METHOD

To provide a charged-particle assessment tool comprising: a condenser lens array; a collimator; a plurality of objective lenses; and an electric power source.SOLUTION: The condenser lens array is configured to divide a beam of charged particles into a plurality of sub-beams and to focus each of the sub-beams to a respective intermediate focus. The collimator is at each intermediate focus and configured to deflect a respective sub-beam so that the respective sub-beam is incident on a sample substantially normally. The objective lenses are each configured to project one of the charged-particle beams onto the sample. Each objective lens comprises: a first electrode; and a second electrode between the first electrode and the sample. The electric power source is configured to apply first and second potentials to the first and second electrodes, respectively, such that the respective charged-particle beam is decelerated to be incident on the sample with a desired landing energy.SELECTED DRAWING: Figure 4 【課題】集光レンズアレイ、コリメータ、複数の対物レンズ、及び電源を備える荷電粒子評価ツールが提供される。【解決手段】荷電粒子のビームを複数のサブビームに分割し、各サブビームをそれぞれの中間焦点に集束させるように構成された集光レンズアレイ。各中間焦点にあり、それぞれのサブビームがサンプルに実質的に垂直に入射するように、それぞれのサブビームを偏向させるように構成されたコリメータ。複数の対物レンズであって、そのそれぞれは複数の荷電粒子ビームのうちの１つをサンプル上に投影するように構成された、複数の対物レンズ。各対物レンズは、第１の電極、及び第１の電極とサンプルとの間にある第２の電極を含む。それぞれの荷電粒子ビームが減速されて、所望の着地エネルギーでサンプルに入射するように、第１及び第２の電位をそれぞれ第１及び第２の電極に印加するように構成された電源。【選択図】図４