ELECTRIC CHARGE PARTICLE BEAM DEVICE

To provide a technology that can prevent the device performance from being reduced due to the effects of vibration and noise caused by a blower (fan) regarding an electric charge particle beam device.SOLUTION: An electric charge particle beam device includes a main body device provided in a main body cover, multiple blowers provided in the main body cover, and a controller that controls the multiple blowers. The main body device includes a stage on which a sample is placed, and a microscope that images the sample. The controller acquires an image of the sample captured by the microscope, acquires vibration information from the image, compares the vibration information with a specification value, and controls the rotation speed of the multiple blowers on the basis of the comparison result. The controller reduces the rotation speed of one or more first blowers among the multiple blowers, and increases the rotation speed of one or more second blowers.SELECTED DRAWING: Figure 9 【課題】荷電粒子ビーム装置に関して、送風機（ファン）による振動や騒音の影響によって装置性能が低下することを防ぐことができる技術を提供する。【解決手段】荷電粒子ビーム装置は、本体カバー内に設けられた本体装置と、本体カバーに設けられた複数の送風機と、複数の送風機を制御するコントローラとを備える。本体装置は、試料が載置されるステージと、前記試料を撮像する顕微鏡とを有する。コントローラは、顕微鏡によって試料を撮像した画像を取得し、画像から振動情報を取得し、振動情報と仕様値とを比較し、比較の結果に基づいて、複数の送風機の回転数を制御する。コントローラは、複数の送風機のうち、１つ以上の第１送風機の回転数を低下させ、他の１つ以上の第２送風機の回転数を増加させる。【選択図】図９