PROCESSING SYSTEM

To provide a processing system that can implement an inspection using a terahertz wave more advantageously.SOLUTION: A processing system includes: a first imaging system that has a frequency range from 30GHz to 30THz, and captures a first image based on a terahertz from an inspection object; a secon...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: ITSUJI TAKEAKI, YOSHIOKA TOSHIFUMI, KURASHIMA TAMAYOSHI, TAKAMI EIICHI, UMIBE NORIYUKI, IBA JUN, KOYAMA YASUSHI, SATO TAKAHIRO
Format: Patent
Sprache:eng ; jpn
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Beschreibung
Zusammenfassung:To provide a processing system that can implement an inspection using a terahertz wave more advantageously.SOLUTION: A processing system includes: a first imaging system that has a frequency range from 30GHz to 30THz, and captures a first image based on a terahertz from an inspection object; a second imaging system that captures a second image of the inspection object based on an electromagnetic wave of a wavelength different from the terahertz wave; a control unit that controls the first imaging system; and a processor that processes the first image and second image. The control unit is configured to control the first imaging system on the basis of a result of the processing performed on the second image by the processor, and the processor is configured to: detect an inspection area based on the second image; compare the first image with the second image to thereby select an area of the first image corresponding to the inspection area; and perform image processing about the area of the first image corresponding to the inspection area detected from the second image.SELECTED DRAWING: Figure 1 【課題】テラヘルツ波を使う検査をより有利に実行することができる処理システムを提供すること【解決手段】30GHzから30THzの周波数範囲を有し、検査対象からのテラヘルツ波に基づく第1画像を撮像する第1撮像システムと、前記テラヘルツ波と異なる波長の電磁波に基づき前記検査対象の第2画像を撮像する第2撮像システムと、前記第1撮像システムを制御する制御部と、前記第1画像と前記第2画像とを処理するプロセッサとを含み、前記制御部は、前記プロセッサによる前記第2画像に対して行われた処理の結果に基づいて、前記第1撮像システムを制御し、前記プロセッサは前記第2画像に基づいて検査領域を検出し、前記第1画像を前記第2画像と比較することにより前記検査領域に対応する前記第1画像の領域を選択し、前記第2画像から検出された前記検査領域に対応する前記第1画像の領域について画像処理を行う。【選択図】図1