METHOD OF INFILTRATING INORGANIC SUBSTANCE INTO PLASTIC MATERIAL, AND INORGANIC SUBSTANCE INFILTRATION APPARATUS

To provide an inorganic substance infiltration apparatus that infiltrates a metal into a plastic material.SOLUTION: An inorganic substance infiltration apparatus (100) comprises: a chamber part (20) in which a plastic material is put; rotation means (MT) for rotating the chamber part (20) to rock the plastic material; a chamber heater (29) for heating the chamber part to heat the plastic material; a vacuum pump (VP) for bringing the inside of the chamber part into a vacuum state of 10 Pa or less; and a first precursor providing part (11) for providing a gaseous inorganic substance into the chamber part. Then, the inorganic substance infiltration apparatus brings the plastic material in the chamber part into a vacuum state, thereafter, provides the gaseous inorganic substance into the chamber part, and heats and rocks the plastic material, to manufacture an organic and inorganic hybrid material.SELECTED DRAWING: Figure 1 【課題】 プラスチック材料に金属を浸透させる無機物浸透装置を提供する。【解決手段】 無機物浸透装置（１００）は、プラスチック材料を入れるチャンバー部（２０）と、チャンバー部（２０）を回転しプラスチック材料を揺動させる回転手段（ＭＴ）と、チャンバー部を加熱しプラスチック材料を加熱するチャンバーヒーター（２９）と、チャンバー部内を１０Ｐａ以下の真空状態にする真空ポンプ（ＶＰ）と、ガス状態の無機物をチャンバー部内に提供する第１プリカーサ提供部（１１）と、を備える。そして無機物浸透装置は、チャンバー部のプラスチック材料を真空状態にし、その後ガス状態の無機物をチャンバー部内に提供し、プラスチック材料を加熱し揺動させて、有機・無機ハイブリッド材料を製造する。【選択図】 図１