EXPANSION METHOD AND EXPANSION DEVICE

To provide an expansion method and an expansion device that can prevent contact between chips while preventing gas generated by heating an expansion sheet from adhering to a workpiece.SOLUTION: An expansion method includes: a frame fixing step 301 of fixing a frame of a work unit with a frame fixing unit; an expansion step 302 of expanding an expansion sheet to form a gap between chips that are formed by dividing a workpiece; a holding step 303 of holding the workpiece with a holding table with the expansion sheet therebetween to maintain the gap; a cutting step 304 of cutting the expansion sheet to divide the work unit into a workpiece part formed of the workpiece and the expansion sheet fixed to the workpiece and hollowed so that a margin for gluing protrudes, and a frame part formed of the frame and the remaining part of the expansion sheet fixed to the frame; and a fixing step 305 of superposing the margin for gluing on the remaining part and fixing them with an adhesive member.SELECTED DRAWING: Figure 4 【課題】エキスパンドシートを加熱することで発生するガスがワークに付着することを抑制しながらもチップ同士の接触を抑制することができること。【解決手段】拡張方法は、フレーム固定ユニットでワークユニットのフレームを固定するフレーム固定ステップ３０１と、エキスパンドシートを拡張しワークが分割されて形成されたチップ間に間隙を形成する拡張ステップ３０２と、保持テーブルでエキスパンドシートを介してワークを保持して間隙を維持する保持ステップ３０３と、エキスパンドシートを切断し、ワークとワークに固定されのり代がはみ出すようにくり抜かれたエキスパンドシートとからなるワーク部と、フレームとフレームに固定されたエキスパンドシートの残り部とからなるフレーム部とにワークユニットを分断する切断ステップ３０４と、のり代と残り部とを重ねて接着部材で固定する固定ステップ３０５と、を備える。【選択図】図４