SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS AND SUBSTRATE PROCESSING METHOD

To inspect a state of a belt while maintaining throughput.SOLUTION: A substrate processing apparatus comprises: a processing unit which applies predetermined processing to a substrate; a transfer unit including a holding section for holding the substrate and a driving section which includes a belt and transfers the holding section in a first direction by moving the belt; a measurement unit capable of acquiring a vibration signal corresponding to vibration of the belt derived from the displacement of the holding section; and a control unit. The control unit includes: a processing control section for executing process processing including first processing in which the predetermined processing is applied successively to a plurality of substrates including the substrate by the processing unit, and second processing in which the plurality of substrates are respectively transferred into/transferred out of the processing unit by the transfer unit; a signal acquisition section for acquiring the vibration signal from the measurement unit; and a state determination section for determining a state of the belt on the basis of the vibration signal. The signal acquisition section acquires the vibration signal during an execution period of the process processing.SELECTED DRAWING: Figure 5 【課題】スループットを維持しつつ、ベルトの状態を検査する。【解決手段】基板処理装置は、基板に対して所定の処理を施す処理ユニットと、基板を保持する保持部と、ベルトを含み且つ当該ベルトを移動させることで第１方向において保持部を変位させる駆動部とを有する搬送ユニットと、保持部の変位に由来するベルトの振動に応じた振動信号を取得可能な計測ユニットと、制御ユニットと、を備える。制御ユニットは、基板を含む複数の基板に対して所定の処理を処理ユニットにより順に施す第１処理と、搬送ユニットにより処理ユニットに対する複数の基板それぞれの搬入出を行う第２処理とを含むプロセス処理を実行する処理制御部と、計測ユニットから振動信号を取得する信号取得部と、振動信号に基づいてベルトの状態を判定する状態判定部と、を有する。信号取得部は、プロセス処理の実行期間において振動信号を取得する。【選択図】図５