COLLECTION METHOD

To enable a collection box to store protective tapes more than before.SOLUTION: A collection method, which peels a protective tape from a wafer to collect the tape, comprises: a peeling-tape adhesion step of making a predetermined region different from one end part of a tape for peeling adhere to an outer periphery part, in a radial direction parallel to a second direction crossing a first direction in which the protective tape is pulled from a roll body including the protective tape when making the protective tape adhere to the wafer, of one surface of the protective tape made to adhere to one surface of the wafer held on a holding table, while making a gripping unit grip one end part of the tape for peeling; a peeling step of peeling the protective tape from the wafer, by relatively moving the gripping unit and the holding table along the second direction; and a protective tape collecting step of collecting the protective tape by moving the gripping unit to above a collection box to drop the protective tape together with the tape for peeling from the gripping unit into the collection box.SELECTED DRAWING: Figure 1 【課題】従来に比べてより多くの保護テープを回収箱内に収める。【解決手段】ウェーハから保護テープを剥離して回収する回収方法であって、保持テーブルで保持されたウェーハの一方の面に貼り付けられている保護テープの一面のうち保護テープをウェーハに貼り付ける際に保護テープを含むロール体から保護テープが引っ張られる第１方向と交差する第２方向と平行な半径方向の外周部に、把持ユニットで剥離用テープの一端部を把持した状態で、剥離用テープの一端部とは異なる所定領域を貼り付ける剥離用テープ貼り付けステップと、把持ユニットと保持テーブルとを第２方向に沿って相対的に移動させ、ウェーハから保護テープを剥離する剥離ステップと、把持ユニットを回収箱の上方に移動させ、剥離用テープと共に保護テープを把持ユニットから回収箱へ投下することで保護テープを回収する保護テープ回収ステップと、備える回収方法を提供する。【選択図】図１