CORRECTION METHOD FOR CHUCK TABLE

To provide a correction method for a chuck table whereby a holding surface of the chuck table can be regenerated without removing the chuck table from a cutting device.SOLUTION: A correction method for a chuck table includes: a tip-end position adjustment step of attaching a grinding blade 83 to cut...

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Hauptverfasser: ARAKAWA TARO, ARAI NORIO, MORI TOMOKA
Format: Patent
Sprache:eng ; jpn
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Beschreibung
Zusammenfassung:To provide a correction method for a chuck table whereby a holding surface of the chuck table can be regenerated without removing the chuck table from a cutting device.SOLUTION: A correction method for a chuck table includes: a tip-end position adjustment step of attaching a grinding blade 83 to cutting means 8, operating Z-axis feeding means to relatively feed the cutting means 8 in a Z-axis direction, and adjusting a position of the tip end Q of the grinding blade 83 in the Z-axis direction to a grinding position at which a holding surface 23 of a chuck table 22 is ground and corrected; a center passage adjustment step of operating and adjusting Y-axis feeding means or the X-axis feeding means to a position at which the grinding blade 83 passes through a rotation center P of the chuck table 22; and a correction step of rotating the chuck table 22 and relatively feeding the grinding blade 83 in the X-axis direction or the Y-axis direction to grind and flatten the holding surface 23.SELECTED DRAWING: Figure 4 【課題】切削装置からチャックテーブルを取り外すことなくチャックテーブルの保持面を再生できるチャックテーブルの修正方法を提供する。【解決手段】研削用ブレード83を切削手段8に装着し、Z軸送り手段を作動して切削手段8をZ軸方向に相対的に加工送りして研削用ブレード83の先端QのZ軸方向の位置をチャックテーブル22の保持面23を研削して修正する研削位置に調整する先端位置調整工程と、研削用ブレード83がチャックテーブル22の回転中心Pを通過する位置に該Y軸送り手段又は該X軸送り手段を作動して調整する中心通過調整工程と、チャックテーブル22を回転すると共に、研削用ブレード83をX軸方向又はY軸方向に相対的に加工送りして保持面23を研削して平坦化する修正工程と、を含み構成される。【選択図】図4