COMPONENT REPLACEMENT SYSTEM AND COMPONENT REPLACEMENT DEVICE

To reduce an installation area of a system in the manufacture of a semiconductor device.SOLUTION: A component replacement system for replacing a consumable component includes a component accommodating device and a component replacement device. The component accommodating device accommodates a consumable component before use. The component replacement device is connected to a processing device and the component accommodating device, and replaces a consumable component after use installed in the processing device with a consumable component before use housed in the component accommodating device. Further, the component replacement device moves to the position of the processing device to which the consumable component to be replaced is attached so as to be connected to the processing device. Further, the component accommodating device moves to the position of the component replacement device connected to the processing device to which the consumable component to be replaced is attached so as to be connected to the component replacement device.SELECTED DRAWING: Figure 1 【課題】半導体装置の製造におけるシステムの設置面積を削減する。【解決手段】消耗部品の交換を行う部品交換システムは、部品収容装置と部品交換装置とを備える。部品収容装置は、使用前の消耗部品を収容する。部品交換装置は、処理装置と部品収容装置とに接続し、当該処理装置内に取り付けられている使用後の消耗部品と、部品収容装置内に収容されている使用前の消耗部品とを交換する。また、部品交換装置は、交換対象の消耗部品が取り付けられている処理装置の位置まで移動し、当該処理装置に接続する。また、部品収容装置は、交換対象の消耗部品が取り付けられている処理装置に接続された部品交換装置の位置まで移動し、当該部品交換装置に接続する。【選択図】図１