SIMPLE SPHERICAL ABERRATION CORRECTOR FOR SEM

To provide a simple spherical aberration corrector for SEM.SOLUTION: Optical corrector modules for charged particle columns which comprise split multipoles, according to the present invention include at least one split multipole composed of two multipoles separated by a distance less than 10 mm, 1 mm, 100 μm, and/or 10 μm. Each of the individual multipoles may comprise at least two electrodes positioned to partially define a beam path through the multipole. According to the present invention, each of the electrodes comprises: a first surface that faces upstream of a charged particle beam when used in the charged particle column; and a second surface that faces downstream of the charged particle beam when used in the charged particle column, wherein the thickness between the first surface and the second surface for each of the electrodes is less than 10 mm, 5 mm, and/or 3 mm. Within the scope of the disclosure, the split multipoles may be electrostatic and may correspond to hexapoles.SELECTED DRAWING: Figure 1 【課題】ＳＥＭ用簡易球面収差補正器を提供する。【解決手段】本発明に係るスプリット多極子を含む荷電粒子カラム用光学補正器モジュールは、１０ｍｍ、１ｍｍ、１００μｍ、及び／又は１０μｍ未満の距離だけ離れた２つの多極子から構成される少なくとも１つのスプリット多極子を含む。個々の多極子はそれぞれ、多極子を通るビーム経路を部分的に画定するように配置された少なくとも２つの電極を含められる。本発明によると、電極はそれぞれ、荷電粒子カラムで使用される際に荷電粒子ビームの上流に面する第１表面と、荷電粒子カラムで使用される際に荷電粒子ビームの下流に面する第２表面とを含み、各電極の第１表面と第２表面との間の厚さは１０ｍｍ、５ｍｍ、及び／又は３ｍｍ未満である。本開示の範囲内において、スプリット多極子は静電的であってもよく、六極子に相当し得る。【選択図】図１