LASER PROCESSING DEVICE, CONTROL METHOD OF LASER PROCESSING DEVICE, AND PROGRAM

To provide a technology for increasing the average laser output while maintaining the beam quality of laser light in a laser processing device composed of a MOPA type fiber laser.SOLUTION: A laser processing device 100 includes a seed light source 2, a laser amplification unit including excitation light sources 3, 9A, and 9B and amplification fibers 1 and 8 configured to amplify the seed light by inputting the seed light and the excitation light, a scanning mechanism 14 that scans the laser beam output from the laser amplification unit, and a control unit 20 that controls the seed light source 2 and the excitation light sources 3, 9A, and 9B. The control unit 20 controls the seed light source 2 such that a pulse train containing multiple optical pulses is repeatedly generated from the seed light source 2, and the light intensity of the multiple optical pulses increases in a curved manner with respect to time. The control unit 20 controls the amount of light of the first light pulse among the plurality of light pulses and the curvature of increase in the amount of light of the light pulses, according to a parameter related to the pulse train.SELECTED DRAWING: Figure 1 【課題】ＭＯＰＡ型ファイバレーザにより構成されるレーザ加工装置において、レーザ光のビーム品質を維持しつつレーザ平均出力を上げるための技術を提供する。【解決手段】レーザ加工装置１００は、シード光源２と、励起光源３，９Ａ，９Ｂと、シード光と励起光とが入射されることによりシード光を増幅するように構成された増幅ファイバ１，８を含むレーザ増幅部と、レーザ増幅部から出力されるレーザ光を走査する走査機構１４と、シード光源２および励起光源３，９Ａ，９Ｂを制御する制御部２０とを備える。制御部２０は、シード光源２から複数の光パルスを含むパルス列を繰り返し発生させ、かつ、複数の光パルスの光量が時間に対して曲線的に増加するように、シード光源２を制御する。制御部２０は、パルス列に関するパラメータに従って、複数の光パルスのうちの最初の光パルスの光量、および、光パルスの光量の増加の曲率を制御する。【選択図】図１