OSCILLATORY OPTICAL SENSOR, SPECTROSCOPE, FOOD ANALYSIS DEVICE, AND IMAGE DIAGNOSTIC DEVICE
To provide a small-sized oscillatory optical sensor which achieves an improved light absorption amount and photothermal conversion efficiency.SOLUTION: An oscillatory optical sensor 1 includes a micro-mechanical vibrator 10 and a substrate 30. The micro-mechanical vibrator 10 includes: a light recep...
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Format: | Patent |
Sprache: | eng ; jpn |
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