LASER PROCESSING DEVICE

To monitor the output of a laser beam without arranging a mirror on an optical path of the laser beam and without interrupting laser processing.SOLUTION: A laser processing device is provided which comprises a suction holding plate, a laser beam irradiation unit for irradiating a workpiece under suction holding by the suction holding plate with a laser beam, an alarm unit for emitting alarms when the output of the laser beam exceeds a predetermined range, and a control unit for controlling the operation of the alarm unit, where the laser beam irradiation unit has a laser oscillator, a condenser lens, and a power measurement unit for measuring the power of a laser beam reflected and diffused by at least the condenser lens, and the control unit estimates, on the basis of the power measured by the power measurement unit, the output of the laser beam emitted from the laser oscillator to make the alarm unit emit alarms when the output of the laser beam estimated exceeds a predetermined range.SELECTED DRAWING: Figure 1 【課題】レーザービームの光路上にミラーを配置することなく、且つ、レーザー加工を中断することなくレーザービームの出力を監視する。【解決手段】吸引保持板と、吸引保持板で吸引保持された被加工物に対してレーザービームを照射するレーザービーム照射ユニットと、レーザービームの出力が所定の範囲を超えた場合に警報を発する警報ユニットと、警報ユニットの動作を制御する制御ユニットと、を備え、レーザービーム照射ユニットは、レーザー発振器と、集光レンズと、少なくとも集光レンズで反射及び散乱されたレーザービームのパワーを測定するパワー測定ユニットと、を有し、制御ユニットは、パワー測定ユニットで測定されたパワーに基づいてレーザー発振器から出射されたレーザービームの出力を推定し、推定されたレーザービームの出力が所定の範囲を超える場合、警報ユニットに警報を出させるレーザー加工装置を提供する。【選択図】図１