ELECTROOPTICAL SYSTEMS HAVING HEATING ELEMENTS
To improve detection in varying environmental conditions (e.g., atmospheric temperature, rain, etc.).SOLUTION: A microelectromechanical system (MEMS) mirror assembly 700A may comprise a frame 711 and a MEMS mirror 701 coupled to the frame. The MEMS mirror assembly may also include at least one piezo...
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Format: | Patent |
Sprache: | eng ; jpn |
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Zusammenfassung: | To improve detection in varying environmental conditions (e.g., atmospheric temperature, rain, etc.).SOLUTION: A microelectromechanical system (MEMS) mirror assembly 700A may comprise a frame 711 and a MEMS mirror 701 coupled to the frame. The MEMS mirror assembly may also include at least one piezoelectric actuator including a body and a piezoelectric element. When subjected to an electrical field, the piezoelectric element may be configured to bend the body, thereby moving the MEMS mirror with respect to a plane of the frame. The MEMS mirror assembly may further include at least one heating resistor configured to heat the piezoelectric element when an electric current passes through the at least one heating resistor.SELECTED DRAWING: Figure 7A
【課題】様々な環境条件(例えば大気温度、雨等)における検出の向上【解決手段】微小電気機械システム(MEMS)ミラーアセンブリ700Aは、フレーム711及びフレームに結合されたMEMSミラー701を含み得る。MEMSミラーアセンブリは、本体及び圧電要素を含む少なくとも1つの圧電アクチュエータも含み得る。電界に曝されると、圧電要素は本体を曲げるように構成され得、それによりMEMSミラーをフレームの平面に関して動かす。MEMSミラーアセンブリは、電流が少なくとも1つの発熱抵抗体を流れるときに、圧電要素を加熱するように構成された少なくとも1つの発熱抵抗体を更に含み得る。【選択図】図7A |
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