CERAMIC HEATER

To provide a ceramic heater which can increase the transient characteristics to heating or cooling in the outer peripheral part of a ceramic base material.SOLUTION: A ceramic heater 100 includes: a disc-like ceramic base material 110; and a heater electrode 122 buried in the ceramic base material 11...

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: SHIMOJIMA HIROMASA, KITABAYASHI TETSUO
Format: Patent
Sprache:eng ; jpn
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