BROAD ION BEAM (BIB) SYSTEM FOR MORE EFFICIENT PROCESSING OF MULTIPLE SAMPLES

To disclose a system and a method for operating a broad ion beam (BIB) polisher in a sample preparation workflow having improved uptime.SOLUTION: An exemplary method for operating a broad ion beam (BIB) polisher having improved uptime according to the present invention comprises: causing a first BIB source to emit a first broad ion beam toward a sample disposed within an internal volume of the BIB polisher while the first BIB source is emitting the first broad ion beam toward the sample; and removing, from the BIB polisher, a second BIB source configured to emit, in use, a second broad ion beam toward the sample.SELECTED DRAWING: Figure 1 【課題】 改善された稼働時間を有する試料準備ワークフローにおいてブロードイオンビーム（ＢＩＢ）研磨機を動作させるためのシステム及び方法が開示される。【解決手段】 本発明による改善された稼働時間を有するブロードイオンビーム（ＢＩＢ）研磨機を動作させるための例示的な方法は、第１のＢＩＢソースが試料に向かって第１のブロードイオンビームを放出している間に、第１のＢＩＢソースに、ＢＩＢ研磨機の内部容積内に配置された試料に向かって第１のブロードイオンビームを放出させることと、使用時に、試料に向かって第２のブロードイオンビームを放出するように構成された第２のＢＩＢソースをＢＩＢ研磨機から除去することと、を含む。【選択図】 図１