BELLOWS PUMP DEVICE

To provide a bellows pump which can determine an occurrence of an abnormality in a fluid pressure adjustment section with an inexpensive constitution.SOLUTION: A control unit 6 of a bellows pump device 1 determines whether or not a second bellows 14 (a first bellows 13) is partway through expansion when the first bellows 13 (the second bellows 14) has contracted to a mid-contraction state. When the result of the determination is affirmative, the control unit performs pressure rise control, which outputs a pressure rise command to a second electropneumatic regulator 52 (a first electropneumatic regulator 51) so as to raise a pneumatic pressure of compressed air supplied to a second suction-side air chamber 26B (a first suction-side air chamber 26A) of a second drive unit 28 (a first drive unit 27) during the next expansion of the second bellows 14 (the first bellows 13). The control unit 6 counts the number of times pressure rise control is performed consecutively, and when the counted number of times exceeds a prescribed number of times, the control unit determine that an abnormality has occurred in the second electropneumatic regulator 52 (the first electropneumatic regulator 51).SELECTED DRAWING: Figure 7 【課題】安価な構成で流体圧調整部に異常が発生したこと把握することができるベローズポンプを提供する。【解決手段】ベローズポンプ装置１の制御部６は、第１ベローズ１３（第２ベローズ１４）が収縮途中状態まで収縮したときに、第２ベローズ１４（第１ベローズ１３）が伸長途中であるか否かを判定し、その判定結果が肯定的である場合、次回の第２ベローズ１４（第１ベローズ１３）の伸長時に、第２駆動部２８（第１駆動部２７）の第２吸込側空気室２６Ｂ（第１吸込側空気室２６Ａ）に供給される加圧空気の空気圧を昇圧させるように第２電空レギュレータ５２（第１電空レギュレータ５１）に昇圧指令を出力する昇圧制御を行う。制御部６は、昇圧制御を連続して行った回数をカウントし、カウントした回数が所定回数を超えた場合に第２電空レギュレータ５２（第１電空レギュレータ５１）が異常であると判定する。【選択図】図７