THERMAL MANAGEMENT SYSTEMS AND DEVICES FOR CABINETS USED IN SEMICONDUCTOR FABRICATION PROCESSING

To provide thermal management systems and devices for cabinets used in semiconductor fabrication processing.SOLUTION: Cabinets used in semiconductor fabrication processes comprise a housing with an internal space having a storage vessel disposed therein, the storage vessel containing a material used for semiconductor fabrication processing, the material being maintained at a set temperature. Thermal management systems and devices disclosed herein comprise a thermal insulating material that is disposed on the housing and that is positioned at one or more locations on the cabinet to reduce thermal transfer from an external thermal energy source, which is outside of and adjacent to the cabinet, to the internal space and the storage vessel. Use of the thermal insulating material functions to mitigate or eliminate the unwanted transfer of thermal energy from the external thermal energy source to the storage vessel inside of the cabinet, to thereby not influence the set temperature of the storage vessel and its contents to thereby promote effective and efficient use of the stored material during semiconductor fabrication.SELECTED DRAWING: Figure 1 【課題】半導体製造加工で使用されるキャビネット用の熱管理システムおよび装置を提供する。【解決手段】半導体製造プロセスで使用されるキャビネットは、貯蔵ベッセルがその中に配置される内部空間を有するハウジングを備え、貯蔵ベッセルは、半導体製造加工に使用される材料を収容し、その材料は、設定温度で維持される。本明細書に開示される熱管理システムおよび装置は、ハウジング上に配置され、キャビネット上の１つ以上の位置に位置付けられ、キャビネットの外部にあってキャビネットに隣接する外部熱エネルギー源から内部空間および貯蔵ベッセルへの熱伝達を低減する断熱材を備える。断熱材の使用は、外部熱エネルギー源からキャビネット内部の貯蔵ベッセルへの熱エネルギーの望ましくない伝達を軽減または除去し、それによって貯蔵ベッセルおよびその内容物の設定温度に影響を与えず、それによって半導体製造中の貯蔵材料の効果的かつ効率的な使用を促進するように機能する。【選択図】図１