MODIFYING METHOD OF COMPONENT SURFACE CONDITION BY ION IMPACT

To provide a method of plasma processing of a target surface of a component.SOLUTION: A method includes the following steps: a step obtaining a target surface 11 on a component 10; a step which puts the component in a chamber of a plasma generator; a step exhausting the chamber up to 10-6 to 10 mbar pressure; a step which pours excellent gas in the chamber until 10-4 to 102 mbar pressure in the chamber is reached; a step which generates current discharge in the chamber by a power generator so as to generate plasma; and a step which degrades a surface condition of the target surface, raises roughness of the target surface and puts the target surface in a matte state or a more matte state by exposing the target surface of the component to the plasma during a prescribed period in accordance with power of the current discharge, the gas of the chamber, and a material of the target surface.SELECTED DRAWING: Figure 4 【課題】本発明は、部品の標的表面をプラズマ処理する方法を提供する。【解決手段】以下のステップ：部品１０上の標的表面１１を得るステップ；上記部品をプラズマ生成器のチャンバに入れるステップ；１０－６～１０ｍｂａｒの圧力まで上記チャンバを排気するステップ；１０－４～１０２ｍｂａｒの上記チャンバ内の圧力に到達するまで、好適なガスを上記チャンバに注入するステップ；プラズマを生成するために、発電機によって上記チャンバ内で電流放電を生成するステップ；特に上記電流放電の電力、上記チャンバに注入された上記ガス、及び上記標的表面の材料に応じた所定の期間にわたって、上記部品の上記標的表面を上記プラズマに曝露することにより、上記標的表面の表面状態を劣化させて、上記標的表面の粗度を上昇させ、上記標的表面をつや消し状態又はよりつや消し状態にするステップを含む。【選択図】図４