TEMPERATURE-REGULATING APPARATUS, TEMPERATURE-REGULATING METHOD, DEVICE-PRODUCING APPARATUS, AND ARTICLE-PRODUCING METHOD

To provide a technique advantageous for reducing peek electric currents generated by a plurality of heaters for secondary temperature control while maintaining a control accuracy of secondary temperature control.SOLUTION: A temperature-regulating apparatus includes: a first control part for controlling a cooler which conducts primary temperature regulating of a temperature regulating medium; and a second control part for controlling electric power supply to a plurality of respective heaters which conduct secondary temperature regulating of the temperature regulating medium by PWM control. The second control part determines timings of time periods while pulses of PWM control of a plurality of respective heaters are on so that a total current value of a plurality of the heaters does not surpass a predetermined limited value, and the first control part determines correction values to the target temperature on the basis of control inputs output from the second control part to a plurality of the respective heaters, and corrects the target temperature using the determined correction values.SELECTED DRAWING: Figure 2 【課題】二次温度制御の制御精度を維持しつつ、二次温度制御用の複数の加熱器で発生するピーク電流を低減するのに有利な技術を提供する。【解決手段】温調装置は、温調媒体の一次温調を行う冷却器を制御する第１制御部と、温調媒体の二次温調を行う複数の加熱器それぞれへの電力供給をＰＷＭ制御により制御する第２制御部とを備える。前記第２制御部は、前記複数の加熱器の合計電流値が所定の制限値を超えないように、前記複数の加熱器それぞれのＰＷＭ制御におけるパルスがＯＮである期間のタイミングを決定し、前記第１制御部は、前記第２制御部から出力された前記複数の加熱器それぞれに対する操作量に基づいて、前記目標温度に対する補正値を決定し、前記決定された前記補正値を用いて前記目標温度を補正する。【選択図】 図２