SEU CROSS SECTION ESTIMATION DEVICE, SEU CROSS SECTION ESTIMATION METHOD AND SEU CROSS SECTION ESTIMATION PROGRAM

To estimate an SEU cross section of a semiconductor device whose SEU cross section is unknown with a simple method.SOLUTION: An SEU cross section estimation device comprises: a storage unit 15 that stores a soft error generation rate for each target in a plurality of reference devices with a known SEU cross section when a plurality of targets made of different materials is irradiated with each neutron generated by irradiating each target with a particle radiation; a calculation unit 12 that calculates a soft error generation rate when a measurement target device is irradiated with each neutron; a determination unit 16 that determines the degree of similarity between the soft error generation rate of a measurement target device 4 and the soft error generation rate of the reference device; and an estimation unit 17 that estimates an SEU cross section of the measurement target device 4 based on the SEU cross section of the reference device determined to have the highest degree of similarity to the measurement target device 4.SELECTED DRAWING: Figure 1 【課題】簡易な方法でＳＥＵクロスセクションが未知である半導体デバイスのＳＥＵクロスセクションを推定する。【解決手段】ＳＥＵクロスセクションが既知である複数の基準デバイスに、材質が異なる複数のターゲットに粒子放射線をそれぞれ照射して発生する各中性子を照射したときの、各ターゲットごとのソフトエラー発生率を記憶する記憶部１５と、測定対象デバイスに、各中性子を照射したときのソフトエラー発生率を演算する演算部１２と、測定対象デバイス４のソフトエラー発生率と、基準デバイスのソフトエラー発生率との類似度を判定する判定部１６と、測定対象デバイス４との類似度が最も高いと判定された基準デバイスのＳＥＵクロスセクションに基づいて、測定対象デバイス４のＳＥＵクロスセクションを推定する推定部１７とを備える。【選択図】 図１