ETCHANT COMPOSITION

To provide an etchant composition.SOLUTION: An etchant composition includes persulfate, a fluorine-containing compound, a chlorine-containing compound, a cyclic amine compound, an inorganic acid, sulfate, and water. A tip control index (Y) of the etchant composition satisfies 45.0 or more and 70.0 or less, the tip control index (Y) being a value calculated by the following Expression 1. [Expression 1] Y=1.0×10-3×M(X1)+1.0×10-1×M(X2)+5.0×10-2×M(X3)+1.5×M(X1)×M(X2)+2.0×10-1M(X1)×M(X3)+2.0×10-1×M(X2)×M(X3) The description of Expression 1 is as in the specification.SELECTED DRAWING: Figure 1 【課題】エッチング液組成物を提供する。【解決手段】過硫酸塩と、含フッ素化合物と、含塩素化合物と、環状アミン化合物と、無機酸と、硫酸塩と、水と、を含み、チップ制御指数（Ｙ）が、４５．０以上及び７０．０以下を満たし、チップ制御指数（Ｙ）は、下記数式１によって計算された値である、エッチング液組成物に係わるものである：「数１」Ｙ＝１．０×１０－３×Ｍ（Ｘ１）＋１．０×１０－１×Ｍ（Ｘ２）＋５．０×１０－２×Ｍ（Ｘ３）＋１．５×Ｍ（Ｘ１）×Ｍ（Ｘ２）＋２．０×１０－１Ｍ（Ｘ１）×Ｍ（Ｘ３）＋２．０×１０－１×Ｍ（Ｘ２）×Ｍ（Ｘ３）数式１に係わる説明は、本明細書に記載されたところを参照する。【選択図】図１