ETCHANT COMPOSITION

To provide an etchant composition.SOLUTION: An etchant composition includes persulfate, a fluorine-containing compound, a chlorine-containing compound, a cyclic amine compound, an inorganic acid, a first compound, and water. The first compound is a compound containing: a sulfonic group, a sulfonic acid group, or a combination thereof; and an amine group. An interfacial permeation inhibition index (Y) of the etchant composition satisfies 0.10 or more and 0.35 or less, the interfacial permeation inhibition index (Y) being a value calculated by the following Expression 1. [Expression 1] Y=1.4×10-4×M(X1)+1.3×10-4×M(X2)+1.45×10-3×M(X3)+1.5×10-5×M(X1)×M(X2)+1.6×10-3M(X1)×M(X3)+6.5×10-4×M(X2)×M(X3) The description of Expression 1 is as in the specification.SELECTED DRAWING: Figure 1 【課題】エッチング液組成物を提供する。【解決手段】過硫酸塩と、含フッ素化合物と、含塩素化合物と、環状アミン化合物と、無機酸と、第１化合物と、水と、を含み、該第１化合物は、スルホン基、スルホン酸基、またはその組み合わせと、アミン基とを含む化合物であり、界面浸透抑制指数（Ｙ）が０．１０以上及び０．３５以下を満たし、該界面浸透抑制指数（Ｙ）は、下記数式１によって計算された値である、エッチング液組成物に係わる：［数１］Ｙ＝１．４×１０－４×Ｍ（Ｘ１）＋１．３×１０－４×Ｍ（Ｘ２）＋１．４５×１０－３×Ｍ（Ｘ３）＋１．５×１０－５×Ｍ（Ｘ１）×Ｍ（Ｘ２）＋１．６×１０－３Ｍ（Ｘ１）×Ｍ（Ｘ３）＋６．５×１０－４×Ｍ（Ｘ２）×Ｍ（Ｘ３）数式１に係わる説明は、本明細書に記載したところを参照する。【選択図】図１