DUAL-STAGE SOURCE MEASURE UNIT AND METHOD OF OPERATING SOURCE MEASURE UNIT

To make a digital SMU more accurate with a wider bandwidth.SOLUTION: A dual-stage source measure unit (SMU) includes: a user interface 10 enabling a user to input one or more target values; two terminals 18 and 20 coupled to a device under test (DUT); a current loop which has a current digital control loop (DCL), a current digital-to-analog converter (DAC), a sense resistor RSense, a current analog-to digital converter (ADC), and a common ADC and in which the current DCL receives input signals from the current ADC, input signals from the common ADC and a target value for the output current, controls a first output stage 12 and generates an output current; and a voltage loop which has a voltage DCL, a voltage DAC, a voltage ADC, and the common DAC and in which the voltage DCL receives input signals from the voltage ADC, input signals from the common ADC, and a target value for the output signal, controls a second output stage 22 to generate the output voltage.SELECTED DRAWING: Figure 4 【課題】デジタルＳＭＵをより高い正確に、より広い帯域幅にする。【解決手段】デュアル段ソース・メジャー・ユニット(ＳＭＵ)は、ユーザが１つ以上のターゲット値を入力可能にするユーザ・インタフェース１０と、被試験デバイス(ＤＵＴ)に結合される２つの端子１８及び２０と、電流デジタル制御ループ(ＤＣＬ)、電流ＤＡＣ、検出抵抗器ＲSense、電流ＡＤＣ及び共有ＡＤＣを有する電流ループであって、電流ＤＣＬが、電流ＡＤＣからの入力信号、共有ＡＤＣからの入力信号及び出力電流のターゲット値を受けて、第１出力段１２を制御して出力電流を生成する電流ループと、電圧ＤＣＬ、電圧ＤＡＣ、電圧ＡＤＣ及び上記共有ＡＤＣを有する電圧ループであって、電圧ＤＣＬが、電圧ＡＤＣからの入力信号、共有ＡＤＣからの入力信号及び出力電圧のターゲット値とを受けて、第２出力段２２を制御して出力電圧を生成する電圧ループとを具える。【選択図】図４