LASER BEAM IRRADIATION DEVICE

To achieve high productivity with a simple device configuration.SOLUTION: In a laser beam irradiation device 1, a laser beam irradiation unit 20 includes: a laser light source for emitting a laser beam; a spatial light modulator for modulating the laser beam emitted from the laser light source according to a phase pattern, and emitting the laser beam; and imaging means for imaging the laser beam modulated by the spatial light modulator, and irradiating a plate-like object with the laser beam, wherein a control unit 90 has: a phase pattern storage part 91 for storing a plurality of phase patterns having different positions irradiated with the laser beam in a plane of the plate-like object when being displayed on the spatial light modulator; and a phase pattern control part 92 for switching the phase pattern displayed on the spatial light modulator to a predetermined phase pattern out of the plurality of phase patterns stored in the phase pattern storage part 91, and the phase pattern control part 92 switches the phase pattern displayed on the spatial light modulator, and thereby secondarily scans the plane of the plate-like object with the laser beam.SELECTED DRAWING: Figure 1 【課題】簡素な装置構成で高い生産性を実現すること。【解決手段】レーザ光照射装置１において、レーザ光照射ユニット２０は、レーザ光を出射するレーザ光源と、レーザ光源から出射したレーザ光を位相パターンに応じて変調して出射する空間光変調器と、空間光変調器により変調されたレーザ光を結像して板状物に照射する結像手段と、を含み、制御ユニット９０は、空間光変調器に表示させた際に板状物の面内でレーザ光が照射される位置が互いに異なる複数の位相パターンを記憶する位相パターン記憶部９１と、空間光変調器に表示させる位相パターンを、位相パターン記憶部９１に記憶された複数の位相パターンのうち所定の位相パターンに切り替える位相パターン制御部９２と、を有し、位相パターン制御部９２が空間光変調器に表示させる位相パターンを切り替えることにより、レーザ光を板状物の面内で二次元的に走査することが可能である。【選択図】図１