METHOD FOR PRODUCING CARBON NANOTUBES

To provide a method for producing carbon nanotubes that can obtain carbon nanotubes with a predetermined quality even when a reused substrate is used.SOLUTION: There is provided a method for producing carbon nanotubes including the steps of: growing carbon nanotubes on a substrate by chemical vapor deposition; peeling the grown carbon nanotubes from the substrate; and making a reused substrate using the used substrate from which the carbon nanotubes have been peeled, wherein the step of making a reused substrate includes: heat-treating the used substrate at a temperature of 600 degrees Celsius or more and 1100 degrees Celsius or less in an oxygen-containing atmosphere; and cleaning the used substrate while the used substrate is immersed into an organic solvent.SELECTED DRAWING: Figure 3 【課題】再利用基板を用いても所定の品質が確保されたカーボンナノチューブを得ることが可能なカーボンナノチューブの製造方法を提供すること。【解決手段】基板上にカーボンナノチューブを化学気相成長法により成長させる工程と、成長した前記カーボンナノチューブを前記基板から剥離する工程と、前記カーボンナノチューブを剥離した使用済みの前記基板を用いた再利用基板の作製工程とを含み、前記再利用基板の作製工程が、前記使用済みの基板を酸素含有雰囲気下で６００度以上１１００度以下の温度にて加熱処理することと、前記使用済みの基板を有機溶媒中に浸した状態で洗浄することとを含む、カーボンナノチューブの製造方法が提供される。【選択図】図３