TRIMETHYLALUMINUM-CONTAINING COMPOSITION AND PRODUCTION METHOD OF THE SAME

To provide a trimethylaluminum (TMAL)-containing composition in which dimethylaluminum chloride (DMAC) and dimethylaluminum hydride (DMAH) are reduced to such a degree that the function of TMAL is not inhibited.SOLUTION: A TMAL-containing composition has a DMAH content of 0.1 ppm to 500 ppm in terms of hydrogen atom mass and a DMAC content of 15 ppm or less in terms of chlorine atom mass. A production method of a TMAL-containing composition comprises: step (1) of mixing TMAL containing DMAC as an impurity and a compound represented by MIMIIHR3 (a combination of MI which is a first group element; MII which is a 13th group element; and R which is a hydrogen, an alkyl group, an alkoxy group or a cyano group); and step (2) of distilling a mixture obtained by the mixing to obtain a TMAL-containing composition as a main fraction. A quantity of the compound represented by a general formula (A) is 1 equivalent to 20 equivalents relative to DMAC.SELECTED DRAWING: None 【課題】ジメチルアルミニウムクロライド（ＤＭＡＣ）及びジメチルアルミニウムハイドライド（ＤＭＡＨ）を、トリメチルアルミニウム（ＴＭＡＬ）の働きを阻害しない程度に低減したＴＭＡＬ含有組成物を提供する。【解決手段】ＤＭＡＨの含有量は水素原子質量換算で０．１ｐｐｍ以上５００ｐｐｍ以下の範囲であり、ＤＭＡＣの含有量が塩素原子質量換算で１５ｐｐｍ以下であるＴＭＡＬ含有組成物。不純物としてＤＭＡＣを含むＴＭＡＬと、ＭIＭIIＨＲ3で示される化合物（ＭIは第１族元素、ＭIIは第１３族元素、Ｒは水素、アルキル基、アルコキシ基及びシアノ基のいずれかの組み合わせ）を混合する工程（１）、前記混合により得られた混合物を蒸留して、主留分としてＴＭＡＬ含有組成物を得る工程（２）を含むＴＭＡＬ含有組成物の製造方法。一般式（Ａ）で示される化合物の混合量が、ＤＭＡＣに対して１当量以上、２０当量以下の範囲である。【選択図】なし