SOLID-STATE IMAGING ELEMENT

To provide the design and manufacture of a solid-state imaging element with improved quality of an image signal from a photoelectric conversion unit.SOLUTION: A solid-state imaging element includes photoelectric conversion units, modulation structures embedded in the photoelectric conversion units, separation structures disposed between the photoelectric conversion units, and a protective layer disposed over the photoelectric conversion units. From the top surface of the solid-state imaging element, the photoelectric conversion units and the modulation structures form mosaic patterns, and the ratio of the area of one modulation structure to the area of the one corresponding mosaic pattern is about 0.1 to about 0.9.SELECTED DRAWING: Figure 1 【課題】 光電変換ユニットからの画像信号の品質が向上された固体撮像素子の設計および製造を提供する。【解決手段】 固体撮像素子は、光電変換ユニット、光電変換ユニットに埋め込まれた変調構造、光電変換ユニットの間に配置された分離構造、および光電変換ユニットの上に配置された保護層を含む。固体撮像素子の上面からは、光電変換ユニットと変調構造はモザイクパターンを形成しており、変調構造の１つの面積とモザイクパターンの対応する１つの面積との比は、約０．１～約０．９の間である。【選択図】 図１