ACTUATOR DEVICE

To provide an actuator device that can suppress deterioration of wiring laid at a connection part.SOLUTION: An actuator device comprises: a support part; a movable part; a connection part connecting the movable part to the support part on an axis so that the movable part can oscillate around a predetermined axis; first wiring laid on the connection part; second wiring laid on the support part; and an insulation layer having a first opening which exposes a surface at the opposite side of the support part in a first connection portion positioned at the support part of one of the first wiring and the second wiring. A first metal material constituting the first wiring is higher in rigidity than a second metal material constituting the second wiring. The other of the first wiring and the second wiring is connected to the surface of the first connection portion in the first opening. A width of an end part at the support part side in the connection part gradually increases as approaching the support part.SELECTED DRAWING: Figure 3 【課題】連結部に設けられた配線の劣化を抑制することができるアクチュエータ装置を提供する。【解決手段】アクチュエータ装置は、支持部と、可動部と、可動部が所定の軸線周りに揺動可能となるように、軸線上において可動部を支持部に連結する連結部と、連結部に設けられた第１配線と、支持部に設けられた第２配線と、第１配線及び第２配線の一方の配線のうち支持部に位置する第１接続部分における支持部の反対側の表面を露出させる第１開口を有する絶縁層と、を備える。第１配線を構成する第１金属材料は、第２配線を構成する第２金属材料よりも剛性が高い。第１配線及び第２配線の他方の配線は、第１開口において第１接続部分の表面に接続されている。連結部における支持部側の端部の幅は、支持部に近づくほど増加している。【選択図】図３